Mikrosensorik
Vorlesungsinhalt:
Einsatz von Temperatur-, Druck-, Feld- und Gassensoren einschließlich mikroelektronischer Schaltungen zur Messwerterfassung und Prozessregelung unter besonderer Berücksichtigung der herstellungsspezifischen Bauelementcharakteristiken.
Literatur:
Elbel, T.: Mikrosensorik, Studium und Technik, 1996
Niebuhr, J., Lindner, G.: Physikalische Messtechnik, Oldenbourg-Verlag, 1996
Schaumburg, H.: Sensor-Anwendungen, Teubner-Verlag, 1995
Heuberger, A.: Mikromechanik, Springer-Verlag, 1991