Micro-Electromechanical Systems
Vorlesungsinhalt:
Im Rahmen der Vorlesung werden die technologischen und die theoretischen Grundlagen der Mikrosystemtechnik behandelt. Dazu zählen die Ätzverfahren der Mikromechanik, die Herstellung integriert optischer Wellenleiter auf Silizium und auch die Grundlagen der mikroelektronischen Schaltungsintegration. Besondere Bedeutung für die Mikrosystemtechnik haben die Rückwirkungen dieser grundsätzlich eigenständigen Technologien auf die jeweils anderen Integrationstechniken. Sowohl hybride als auch monolithisch hergestellte mikrosystemtechnische Bauelemente werden als Beispiele mit ihren jeweiligen Prozessvorgaben vorgestellt.
Im theoretischen Teil sollen die Grundlagen der Integrierten Optik, der Mikromechanik und der Mikroelektronik behandelt werden, um das Verständnis für die Funktion der mikrosystemtechnischen Bauelemente sicher zu stellen.
Literatur:
Fischer W.J.: Mikrosystemtechnik, Vogel Fachbuch, 2000
Heuberger, A.: Mikromechanik, Springer-Verlag, 1997
Büttgenbach S.: Mikromechanik, Teubner-Verlag, 1994