Mikrosensorik

Vorlesungsinhalt:

Einsatz von Temperatur-, Druck-, Feld- und Gassensoren einschließlich mikroelektronischer Schaltungen zur Messwerterfassung und Prozessregelung unter besonderer Berücksichtigung der herstellungsspezifischen Bauelement­charakteristiken.

Literatur:

Elbel, T.: Mikrosensorik, Studium und Technik, 1996
Niebuhr, J., Lindner, G.: Physikalische Messtechnik, Oldenbourg-Verlag, 1996
Schaumburg, H.: Sensor-Anwendungen, Teubner-Verlag, 1995
Heuberger, A.: Mikromechanik, Springer-Verlag, 1991

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